マイクロメカニカル構造体およびマイクロメカニカル構造体の製造方法が提供される。前記マイクロメカニカル構造体は、シリコン（Ｓｉ）系基板と、前記基板上に直接形成されたマイクロメカニカル要素と、前記マイクロメカニカル要素の開放された部分の下に形成されたアンダーカットと、を備えるものであり、前記アンダーカットは、前記シリル系基板に形成された凹部状のものである。 （もっと読む）