【課題】支持管及びターゲット本体間で良好な接着性を有する中空のスパッタリングターゲット組立体を提供する。
【解決手段】中空ターゲット組立体は、支持管１と、ターゲット本体２０，２１，２５と、複数の弾性要素３からなり、中空ターゲット材の内壁の溝２３と、支持管の外周壁に形成された凹所１２の空間に弾性要素を偏倚して配置することにより、ターゲット本体と支持管とを簡単かつ低価格な方法で、密接に接合することができる。 （もっと読む）

【課題】 円筒形ターゲットと円筒形支持管とが強固に結合された回転ターゲットを形成する回転ターゲット組立体を提供する。
【解決手段】 回転ターゲット組立体は、円筒形ターゲットと円筒形支持管とを有する。円筒形ターゲットの内径と円筒形支持管の外径との間の差は、ターゲット材料の降伏ひずみに円筒形ターゲットの内径及びＮを乗じた値に実質的に等しい。ここでＮは１と１０との間の値である。前記差は、ターゲット材料と、円筒形ターゲットの寸法とにより調節することができ、結果として、円筒形ターゲットは円筒形支持管に強固に結合することができる。回転ターゲットの熱伝導率及び導電率は向上する。 （もっと読む）

【課題】均一に分散されたホウ素、コバルト及びクロムを含むスパッタリングターゲットを製造する方法を提供すること。
【解決手段】ホウ素を含むスパッタリングターゲットの製造方法は、コバルトクロム合金の粉末を用意すること、混合物を生成するために前記コバルトクロム合金の粉末とホウ素及び酸化物を含む原料の粉末とを混合すること、成形体を作るために前記混合物を成形すること、前記スパッタリングターゲットを得るために前記成形体を焼結させることを含む。前記コバルトクロム合金の粉末を用意し、その後、前記コバルトクロム合金の粉末をホウ素、酸化物等と混合するため、ホウ化物粒子の大きさ及び分散を効率的に制御することができる。このため、前記スパッタリングターゲットにおけるコバルト、クロム、ホウ素等は均一に分散される。 （もっと読む）