説明

ザ セクレタリー オブ ステート フォー トレード アンド インダストリーにより出願された特許

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2個のガス源(1,4)からの気体を可撓性の物理的障壁(12)で二分割したチャンバ(17,16)にそれぞれ送り、チャンバ(16,17)全域で圧力が均一な気体混合装置。各チャンバからそれぞれの気体を同時に混合容器(7)へ開放し、圧力放出による可撓性障壁(12)の圧力平衡効果によって、望ましい気体混合物の混合特性を適宜管理する。この装置を分配器または希釈器と呼称しても構わない。窒素中、例えば1%の低濃度一酸化炭素をさらに窒素と混合して、0.001%濃度に希釈するのに使用しても構わない。
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