【課題】電気加熱の負担を減少させ、電気消耗量を減少させるとともに、従来に比べて短期間にポリシリコンを製造できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】反応チャンバーと、前記反応チャンバー内にシランガスを供給するためのガス供給部と、前記ガス供給部で供給されるシランガスにレーザービームを照射し、前記シランガスを熱分解してポリシリコン粒子を形成するためのレーザー照射部と、前記ポリシリコン粒子を収容するためのポリシリコン粒子収容部とを含んでポリシリコンの製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】最初のコーティング新液との特性差が最小化された再利用コーティング液を得ること。
【解決手段】 コーティング装備と連結され、そのコーティング装備中のコーティング廃液を回収し、回収されたコーティング廃液を希釈溶剤及びコーティング新液と混合して再利用コーティング液を製造し、製造した再利用コーティング液をコーティング装備に供給する再利用タンクと、再利用タンクと連結され、その再利用タンクに希釈溶剤を供給して、再利用タンクに回収されたコーティング廃液の粘度を調節する溶剤タンクと、再利用タンクと連結され、その再利用タンクにコーティング新液を供給する新液タンクとを備えたコーティング液の再利用装置、並びに、それを用いたコーティング液の再利用方法を提供する。 （もっと読む）