【課題】運転ガスや水素発生器等の付帯設備を全く使用せず、簡便・小型・軽量で、低濃度の酸化エチレンを精度よく計測できる酸化エチレンモニタを提供する。
【解決手段】高選択性をもつ半導体ガスセンサを装着したガスクロマトグラフを高感度で安定に作動させるには、炭化水素類の含有がなく、適度の湿度を有するキャリアガスが要求される。このキャリアガスは雰囲気空気を圧縮加圧する小型コンプレッサと空気中に含有される炭化水素類を酸化除去し得る白金触媒炉及び吟味された調湿剤を充填した湿度・温度制御筒により構成されたもので得られる。キァリアガスが管理された調湿機構（キャリアガス供給部）を具備し、運転ガス等の付帯設備を排除した構成の半導体ガスセンサ式ガスクロマトグラフの分離・検出部及びマイクロプロセッサによる制御部からなる機構により超高感度酸化エチレンモニタが実現される。 （もっと読む）