【課題】本発明は、白色光走査干渉原理を用いる単一装備で２次元と３次元情報の獲得を全て実施することができ、測定物の全体面積に対する検査を行う代わりに、特定領域のみに対して３次元検査を行えるようにする表面形状測定システム及びそれを用いた測定方法に関するものである。
【解決手段】本発明の表面形状測定システムは、主光源、集光レンズ及び投影レンズで構成される照明部と、前記照明部からの照明光がそれぞれ基準ミラーの基準面Ｒと測定物の測定面Ｐに照射されるように照明光を分割するビーム分割器と、前記測定面Ｐと前記基準面Ｒからそれぞれ反射される基準光と測定光の干渉によって生成された干渉縞を撮影する光検出素子と、前記光検出素子を通して撮像された画像から白色光干渉縞解析を通して表面形状情報を獲得し、獲得された情報を通して欠陥有無を検出する制御コンピュータとを含む表面形状測定システムにおいて、前記測定物とビーム分割器との間には、測定物に対して落射照明を提供する補助光源をさらに備えており、前記主光源と補助光源の点灯及び前記基準面Ｒへの照明照射を選択的に断続し、表面形状に対する２次元情報及び３次元情報を獲得するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、立体形状を有する測定物に対する最高点の測定光と同一の基準光及び最低点の測定光と同一の基準光をそれぞれ生成する反射距離調節手段を備えており、測定物の最低点と最高点に対する干渉縞を同時に獲得できるようにする立体形状測定装置に関するものである。
【解決手段】本発明の立体形状測定装置は、光源と、前記光源からの照明光を分割するビーム分割器と、前記ビーム分割器からの照明光が照射され、最高点と最低点の段差を有する測定物と、前記ビーム分割器からの照明光が照射される基準ミラーと、前記測定物の表面からの測定光と前記基準ミラーで反射される基準光が合わせられて生成される干渉縞を検出する光検出素子と、前記光検出素子を通して検出された画像を処理する制御コンピュータとを含む立体形状測定装置において、前記ビーム分割器と前記基準ミラーとの間には、前記ビーム分割器からの光の経路を変換し、補助基準光を生成する補助基準光生成手段が備えられる。 （もっと読む）

【課題】正反射度の高い立体面の照明飽和領域を減少させた第１映像を獲得し、立体面の周辺領域における格子映像がよく現れた第２映像を獲得した後、第１映像と第２映像とを合成し、この合成映像を基準映像と比較して、立体形状の形成されている検査対象の欠陥有無を判断することによって正確な映像を獲得する光学式検査方法を提供すること。
【解決手段】立体形状の形成されている検査対象物に格子縞を投影させ、該検査対象物の形状にしたがって変形された光を基準パターンと比較して検査対象物の欠陥有無を検査する光学式検査方法において、検査対象物の立体面の正反射度を下げて飽和領域が減少するように照明値を調節して第１映像を獲得する段階（Ｓ１００）と、検査対象物における立体面の周辺領域に格子縞が明確に現れるように照明値を調節して第２映像を獲得する段階（Ｓ２００）と、第１映像と第２映像とを合成する段階（Ｓ３００）と、合成映像の分析を通じて検査対象物の不良有無を判断する段階（Ｓ４００）とを含む。 （もっと読む）

本発明の立体形状測定装置は、光源と、前記光源からの照明光を分割するビーム分割器と、前記ビーム分割器からの照明光が照射され、最高点と最低点との間の段差を有する測定対象物と、前記ビーム分割器からの照明光が照射される基準面と、前記測定対象物の表面及び前記基準面から反射されて合成された干渉紋を撮影する撮影装置と、前記撮影装置を通して撮影された映像を処理する制御コンピュータとを含む立体形状測定装置に関するもので、前記基準面は、前記測定対象物の最高点反射距離及び前記測定対象物の最低点反射距離とそれぞれ同一の反射距離を提供する反射距離調節手段をさらに備える。 （もっと読む）