【課題】冷却手段又は加熱手段に大きな冷却能力又は加熱能力を必要とせず、被制御装置の温度を変更するときに高速かつ高精度に温度制御することができる温度制御装置を提供する。
【解決手段】被制御装置１２と、第１及び第２の供給部３０、４０を含む供給装置２０との間に設けられ、流体の温度を制御する温度制御装置５０であって、流体を貯蔵する貯蔵部５１と、被制御装置１２を第１及び第２の供給部３０、４０の一方と接続するとともに貯蔵部５１を第１及び第２の供給部３０、４０の他方と接続するか、又は、被制御装置１２と貯蔵部５１と接続するように、接続を切り替える接続切替部５５とを有する。 （もっと読む）

【課題】短時間かつ効率よく、温調ターゲットを希望温度にすることを可能とした温調装置を提供すること。
【解決手段】循環液を循環させつつ温調ターゲットＴに循環液を供給する第１循環回路４と、第１循環回路４とは別系統で循環液を循環させつつ温調ターゲットＴに循環液を供給する第２循環回路１６と、第１循環回路４の経路に配設された、第１循環回路４内を循環する循環液を所定温度にする熱交換手段５と、第２循環回路１６で循環させる循環液を貯留するリザーブタンク１５と、温調ターゲットＴ内の循環液をリザーブタンク１５に回収する回収回路２２を有し、第１循環回路４は、循環液を温調ターゲットＴに供給することなく循環させるバイパス路１３を有し、第２循環回路１６で循環液を循環させて温調ターゲットを常温で維持している間に第１循環回路４内の循環液を冷却しておくことを可能にした。 （もっと読む）