基板に流体を塗布するための塗布装置（１）が、一列に配置されるとともに各々が塗布バルブ・ノズル（３１）を備えたバルブ装置（２１）と、流体吸入ダクト（１１０）を有する分配流体チャンバ（１１）とを備える。塗布バルブ装置（２１）の列内に組み込まれ、クリーニング・バルブ・ノズル（３０）を取り付けられたクリーニング・バルブ装置（２０）が流体吸入ダクト（１１０）に結合される。クリーニング・バルブ・ノズルが開いているときに流体チャンバ（１１）をクリーニングするために有効な流路（１００）が、分配流体チャンバ（１１）内の、流体吸入ダクト（１１０）とクリーニング・バルブ装置（２０）との間に形成される。塗布装置（１）をクリーニングする方法は、分配流体チャンバ（１１）が加圧されたクリーニング用流体を受け入れ、塗布バルブ装置（２１）を閉じたままクリーニング・バルブ・ノズル（３０）を開き、次いでクリーニング・バルブ・ノズル（３０）を閉じ、分配流体チャンバ（１１）が加圧されたクリーニング用流体を受け入れるときに塗布バルブ装置を開く、ステップから成る。塗布装置（１）のバルブ装置（２）は、取り外された状態でバルブ・ピストン（５１）を解放する、取り外し可能に取り付けられたノズル・オリフィス（３、４）を有する。バルブ装置（２）はさらに、フロー角の無い状態を維持する直線流体ダクトを有する。調整ピストン（６１）が、バルブ・ピストン（５１）のストロークを設定及び調整するように、移動可能に取り付けられる。
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基板に流体を塗布するための塗布装置のバルブ装置（２．１）が、バルブ本体（１５．１）と、内部チャンバ（８．１）及び弁座（４１．１）を含むバルブハウジング（４．１）と、供給流体チャンバ（１１．１）と、バルブピストン（５１．１）及び調整ピストン（６１．１）を含む電磁バルブ作動装置（５．１）とを備える。バルブノズル（３．１）が、バルブ装置（２．１）のノズル側（１２．１）に着脱可能に取り付けられる。バルブ装置（２．１）は、ノズル側の底部においてバルブ本体（１５．１）を閉じる、バルブピストン（５１．１）用の取付口（１３．１）を備えたノズル板（１２１．１）を有する。バルブハウジング（４．１）は、取付口（１３．１）に下から取り付けできるとともに取り外しできる閉鎖部材（１４．１）であるノズルオリフィスの形で設計される。バルブノズル（３．１）は、バルブハウジング（４．１）の一部を形成する。閉鎖部材（１４．１）取り外すと、バルブピストン（５１．１）が、取り外し及び取り付けのためにノズル板（１２１．１）の取付口（１３．１）を通じて露出される。バルブ装置（２．１）には、供給流体チャンバ（１１．１）を弁座（４１．１）に接続する少なくとも１つの直線流体ダクト（７．１）が設けられる。バルブピストン（５１．１）と調整ピストン（６１．１）の一部とが、ノズルオリフィス閉鎖部材（１４．１）を取り外した際に、クリーニングのために取付口（１３．１）を通じて露出される直線流体ダクト（７．１）の壁（７１．１）を一体に形成する。塗布装置（１）は、１列に配置されたバルブ装置（２１）を備える。
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