流体の特性を検出するためのデバイスおよび関連する方法である。デバイスは本体領域と、第１端部および第２端部を有する第１フレキシブル素子とを備える。第１端部は本体領域上に固定して配置される。フレキシブル素子は、第１熱膨張係数を有する第１層と第２の異なる熱膨張係数を有する第２層とを少なくとも備える。電気ヒータ素子は、フレキシブル素子を加熱してフレキシブル素子の屈曲を引き起こすように構成される。第１端部に隣接する電気ヒータ素子の第１部分の抵抗は、第１端部から離れた電気ヒータ素子の第２部分の抵抗よりも大きくしてもよい。デバイスは、５ミリ秒よりも小さい持続時間を有する電気パルスを電気ヒータに供給するよう構成されるヒータコントローラを備えてもよい。デバイスは、第１端部と第２端部を有し、第１端部が本体領域上に固定配置される第２の基準フレキシブル素子を備えてもよい。各フレキシブル素子は、そのフレキシブル素子の動きを示す信号を提供するよう構成されるセンサをそれぞれ備えてもよい。基準フレキシブル素子のセンサは、第１フレキシブル素子のセンサとは異なる構成を有しており、フレキシブル素子の少なくとも一つは、二つのフレキシブル素子の熱伝導率の分布を一様にするために少なくとも一つの追加材料部分を備える。 （もっと読む）