【課題】珪酸塩含有水酸化カリウムエッチング廃液を処理する電気透析法を提供する。
【解決手段】本発明は、カソード電極１１、アノード電極１３及び２つの陽イオン透析膜を含む反応槽１を備え、反応槽１は、陽イオン透析膜１５により、カソードチャンバ１７１と、アノードチャンバ１７３と、カソードチャンバ１７１とアノードチャンバ１７３との間に位置する廃液チャンバ１７５とに分離され、アノードチャンバ１７３中に硫酸溶液を注入し、カソードチャンバ１７１中に水酸化カリウム溶液を注入し、廃液チャンバ１７５中に珪酸塩含有水酸化カリウムエッチング廃液を導入し、チャンバのそれぞれに電圧及び電流密度を印加し、陽イオン透析膜１５を通って、廃液チャンバ１７５からカソードチャンバ１７１へカリウムイオンが移動することを含む。 （もっと読む）