シリコンと塩化水素、又はシリコンの存在下で四塩化ケイ素と水素、及び触媒を反応させることによってトリクロロシランを製造する方法。シリコンと触媒は一緒に積層され、反応の前に粒度を低減される。 （もっと読む）