【課題】超小型の電子部品を簡単かつ高精度で測定できる電子部品計測装置を提供する。
【解決手段】パレット２の上部に載置されるコンタクトリテーナ１５と、コンタクトリテーナの上部に載置される電極ブロック２１と、を備え、コンタクトリテーナ１５は、コンタクト孔１６が形成されたリテーナプレート１７の下面に可撓性膜１８が取り付けられ、可撓性膜１８上面に露出する接触座２０から可撓性膜１８下方に突出し、計測すべきワークＷの電極の上部に配置されるコンタクトピン１９を備えたものであり、電極ブロック２１は、ブロック体に下方に突出する電極ピン２２を取り付けたものであり、電極ピン２２で接触座２０を押圧してコンタクトピン１９をワークＷの電極パッド３０に押し付けて、ワークの電気的特性を計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】取付スペースが小さくて済み、かつ開閉動作時間も短いエッチング装置おけるシャッタ機構を提供する。
【解決手段】パレット２２に複数のパーツを搭載し、パレット２２の下方のイオンビーム発射装置から発射されたイオンビームIをパレット２２の入射口２３からパーツの底部に照射することによりエッチングを行うエッチング装置において、入射口２３に配置されたシャッタ羽根１４と、シャッタ羽根１４が連結された回転アクチェータ１２とを備え、回転アクチェータ１２の回転によりシャッタ羽根１４を、入射口２３を開放する垂直位置と入射口２３を閉鎖する水平位置とに回転駆動するようにした。 （もっと読む）