【課題】 薄板状部品を一枚ずつ取り出すことができるとともに、二層重なって吸着された場合でも、二層目の部品を確実に分離できる薄板状部品ハンドリング装置を提供する。
【解決手段】 薄板状部品ハンドリング装置１は、薄板状部品を複数枚積層して保持するホルダー１０と、薄板状部品の最上部のものに当てられる真空チャック４０と、真空チャックを進退させるチャック駆動機構と、チャック４０に吸着された薄板状部品に気流を当てるノズル７０と、を備える。真空チャック４０は、薄板状部品の表面に分散して当てられる３本以上の細径パイプ４１からなり、細径パイプ４１内を選択的に真空及び正圧とに切り替えることができる。チャック４０の進退方向は、重力方向に対して８０°〜１０°傾斜している。 （もっと読む）