【課題】従来の真空炉における処理時間の圧縮、精度の高い品質管理、省エネルギー化を主題に置きトータル的な制御の最適化、生産性の改善をめざす。
【解決手段】炉内に被加熱物を一部開放して囲うようにした仕切り板３と、炉内壁と仕切り板３の間に位置するヒータ４を設けるとともに、前記ヒータ４で加熱されたガスを循環及び拡散させて被加熱物を昇温させるようにしたファン７を設け、炉内において、ヒータ４で加熱されたガスを、仕切り板の内側、外側に循環及び拡散させることにより、被加熱物の温度分布が均一化し、温度上昇時間が著しく短縮され温度上昇における省エネルギー化を実現できるようにしている。 （もっと読む）