【課題】ファブリペロー干渉計を利用して位置を取得する装置及び方法の提供。
【解決手段】位置を取得する装置は、共焦点ファブリペロー干渉計２００を有する。 （もっと読む）

本発明は、測定区域に適用された測長手段（１０２）と測長手段の時間的変動を与えるための測長変動ユニット（Ｂ）を具備する、位置検出のための装置に関係する。検出器（１０８）は、測定された区域の長さと変動の関数として上記測長手段（１０２）を観測し、測定信号を生成する。前記測定信号は、測長手段の時間的変動の関数として評価される。 （もっと読む）