互いにネストするベース及びカバーを備えたウェハ容器。ベースは、内壁及び外壁から成る互い違いの壁構造を含む。互い違いの壁構造は、側面衝撃による力が主に外壁セグメントにより吸収されるように配置される。カバーに設けられたリブは、外壁セグメントが内壁径を越えて曲がるのを制限する。ベースに設けられた基準タブは、カバーに対するベースの位置合わせを容易にする。 （もっと読む）