本発明は、処理ゾーン６を通る走行方向に移動する走行基板２５のコーティングのための方法及び装置に関するものであり、コーティング材料の蒸気が、チャンバ５内で生成され、この蒸気は処理開口を通り処理ゾーン６に向かい、そこで、コーティング材料は基板２５の表面に凝結する。処理開口を通る蒸気流は、開放位置と閉鎖位置との間で、少なくとも１つのシャッター１３によって処理開口が遮断される程度を調整することによって制御される。開放位置においては、前記蒸気が処理開口を通って処理ゾーン６の方へ流れる。閉鎖位置においては、蒸気が処理開口を通って処理ゾーン６の方へ流れることが妨げられる。
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本発明は、基材が次々と少なくとも１つのプラズマ処理ゾーンを通り搬送される、１つ又は複数の鋼製品を含む連続基材のプラズマ処理用の方法及びシステムであって、処理ゾーン内でプラズマを発生させるための電力が、基材がこのゾーンを通過しているときこの処理ゾーン内に存在する基材の面積に応じて変化することを特徴とする方法及びシステムに関する。
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本発明は、処理ゾーン２を有する真空チャンバを実質的に連続的に移動して通過する金属基板又は絶縁基板３をプラズマ処理するための方法及びデバイスに関し、プラズマは、無線周波発生器に接続されるインダクタ４による処理ゾーン２内での無線周波誘導結合によって維持され、インダクタ４は、プラズマとインダクタ４の間に配置されるファラデー・ケージ７によって、基板３の表面によって放出される物質によるあらゆる汚染から保護され、ファラデー・ケージ７は、平均すると、プラズマ中に存在する基板３に対して、或いは対電極に対して電気的に正にバイアスされる。
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