（１）成分Ａ、ＢおよびＸを供し、次いで、成分Ａ、ＢおよびＸの固相反応によって、充填スクッテルダイト構造およびＡ_ａＢ_ｂＸ_ｃの式を有する金属間化合物を形成し；（２）さらなるＸの存在下、工程（１）において生成された充填スクッテルダイト構造を有する金属間化合物を溶融し；次いで（３）金属間化合物の相形成温度に等しいか、またはそれより高い温度でさらなるＸの存在下、工程（２）の金属間化合物をアニーリングすることを含むことを特徴とする金属間化合物の製造方法。
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