【課題】ラベル状のフィルムを基板に極めて高精度に貼り付けることができる貼付装置を提供する。
【解決手段】ベースフィルム２の位置を検出する光電センサ２１、検出した位置から所定距離だけベースフィルム２を移動させる移動制御部、所定距離だけ移動させたベースフィルム２を係止する位置決めピン１３、係止したベースフィルム２上のラベル状フィルムの任意の基準点に対する位置を測定する画像センサ２２、測定した位置に基づいて、基板１２をラベル状フィルムに移送するアライメントテーブル１９、ベースフィルム２を基板１２に押圧してラベル状フィルムと基板１２とを貼り付ける加圧ローラ１５などを備える。 （もっと読む）