【課題】 物体の欠陥を検出するための方法および装置を提供する。
【解決手段】 物体２０を透過する波長の光５０を照射することによって物体２０を局部的に照明するステップ１０と、直接透過した照射光の部分４８の検出を少なくとも部分的に回避しつつ、かつ１回反射した照射光５０の部分５３ａ、５３ｂの検出を少なくとも部分的に回避しつつ、複数回反射した照射光５０の部分を検出するステップ１２と、検出した照射光５０の部分の強度の差を評価することによって欠陥２２を識別するステップ１４とを備える、物体２０の欠陥２２を検出するための方法ならびにこの方法を実施するための装置。 （もっと読む）