本発明はマイクロ流体チャネルが備えられたマイクロ流体回路素子に関するものであって、マイクロ流体チャネルの両側面にマイクロ流体チャネルの中央部の高さより低い高さのナノ隙間を備えることによって、マイクロ流体チャネルの駆動力を向上させることができ、安定した流体の流れを得ることができる。
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