相対的な仕事関数の繰り返しパターンを有する材料の表面を検査するための方法及びシステム。前記方法及びシステムは、前記繰り返しパターンの特徴を示すデータを識別するために、センサーデータを処理し、そして、前記センサーデータは、前記繰り返しデータの特徴を示すデータを除去するために、さらに処理されて、前記材料表面の不均一性の特徴を導く。 （もっと読む）

非振動式接触電位差プローブおよび振動式接触電位差プローブを使用して、ウエハ表面の接触電位差を決定するための方法およびシステムが提供される。この方法およびシステムは、非振動式接触電位差センサを用いてウエハ表面を走査するステップと、得られたデータを積分およびスケーリングするステップと、積分およびスケーリングされたデータを振動式接触電位差センサを使用して行われた測定に整合させるために、データの個々のトラックにオフセットを適用するステップと、を含む。 （もっと読む）