【課題】電子工業用高純度酢酸の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は電子工業用高純度酢酸の製造方法に係り、１．工業用酢酸を高速蒸留し、２．孔径０．０５〜０．３μｍのろ過膜によって留分に対して膜ろ過を行い、３．精留を行い、４．再び膜ろ過を行うステップを含む。前記設計によって、純度が９９．８％まで高く、単一金属イオン含有量が１ｐｐｂより小さく、０．５μｍ以上の固体不純物粒子の含有量が５個／ｍｌより小さい電子工業用高純度酢酸を得ることができ、また、本発明により提供される製造方法はエネルギー消耗が低く、操作が簡単で、安全性が良い。 （もっと読む）

【課題】一種の超高純度硫酸の制作方法を提供する。
【解決手段】本発明は一種の超高純度硫酸調製方法を公布した。工業の三酸化硫黄を原料として、円形気化器で気化して、凝縮後、円形気化器の中で第二回の気化を行って純化された三酸化硫黄ガスを得る。これを稀硫酸で循環吸収して、超高純度硫酸を収集する。本発明方法で得られた超高純度硫酸の主体含有量が９６ｗｔ％以上に達して、金属イオンの不純物含有量がＳＥＭＩ Ｃ１２標準に合う。それに、本発明で二回気化を採用して三酸化硫黄原料の純度を向上し、異なる濃度の稀硫酸で循環に純化三酸化硫黄を吸収して、伝統的な生産方法での品質不安定、製品金属イオン不純物含有量過大、エネルギー消費量過大、コスト過大及び汚染し易い問題点を克服した。従って、本発明は、大規模な連続化生産に一層適合する。 （もっと読む）