本発明は測定対象物の表面の２Ｄイメージを撮像する表面形状測定装置に関する。本発明による表面形状測定装置は、第１単色光を前記測定対象物の表面に照射する第１光源と；前記第１単色光と相異なる色相の第２単色光を前記測定対象物の表面に照射する第２光源と；前記第１光源及び前記第２光源から照射されて前記測定対象物の表面で反射した前記第１単色光及び前記第２単色光を撮像する白黒カメラと；前記第１単色光及び前記第２単色光が前記測定対象物の表面にそれぞれ照射される状態で前記第１単色光及び前記第２単色光にそれぞれ対応する第１白黒イメージデータ及び第２白黒イメージデータが獲得されるように前記第１光源、前記第２光源及び前記白黒カメラを制御し、前記第１白黒イメージデータ及び前記第２白黒イメージデータを利用して前記測定対象物の表面に関する合成カラーイメージを生成する制御部とを含むことを特徴とする。これにより、低コストの白黒カメラを利用してカラー２Ｄイメージが獲得でき、カラーカメラより処理速度が速い白黒カメラを利用することによって処理速度も向上することができる。
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