本発明の実施形態は、電気化学電池を製造する装置と方法に関連する。本発明の一実施形態は２つのリールの間で巻かれた基板上に異なる材料を成膜するように構成された単一のチャンバーを含む。一実施形態においては、時間をかけて成膜された材料の連続的な積層に至るように定期的に変更される上記チャンバー内部の条件とともに、上記基板が上記リールの周囲で同じ方向に移動される。別の実施形態によって、時間をかけて成膜された材料の連続的な積層に至るように方向が変化するたびに異なる上記チャンバー内部の条件とともに、上記リールの周囲での上記基板の動きの方向が交替する。上記チャンバーには、上記電気化学電池の異なる層の成膜を可能とするエネルギーおよび材料の異なる源が備えられている。 （もっと読む）