サンプル（２６）を画像化する電子ビーム（３０）とともに使用される装置（１０）。装置は、サンプルに入射する電子ビームによって発生する電子顕微鏡信号（３２）を検出するように構成されたダウンコンバージョン検出器（１４）と、ダウンコンバージョン検出器に隣接し、電子顕微鏡信号を検出するように構成された直接衝撃検出器（１６）と、ダウンコンバージョン検出器および直接衝撃検出器を電子顕微鏡信号に選択的に暴露する機構（１８）とを有する。また、装置を使用する方法が提供される。 （もっと読む）