基板（２）上に複数の金属ナノ球体を作製するオペレーションを含む光学検出デバイスを製造する方法。当該プロセスは、以下のオペレーションを含むことを特徴とする：- 金属ナノ球体を受容することができる複数のリソグラフィーナノ構造体（４ａ、４ｂ、４ｃ）を上記基板（２）上に形成すること（１００）、- 各リソグラフィーナノ構造体（４ａ、４ｂ、４ｃ）においてそれぞれ金属のナノ球体が形成されるように、少なくとも一種の金属の自己凝集析出を実行すること（１０２）。
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プラズモン導波路（８）を備えるフォトニック結晶デバイス（１）を作製する方法は、膜（２）を準備する工程と、所定の格子に従って配置され共振空洞（７）を含むスルーホール（６）の規則正しい平面配置により構成されたフォトニック結晶（５）が得られるように、プログラム方式で、上記膜（２）上に、集束イオンビームを供給する工程と、集束電子ビームにより誘導された化学気相成長法により、上記共振空洞に円錐状のプラズモン導波路（８）を提供する工程と、を備える。析出を誘導する集束電子ビームは、突出構造体のベースから当該突出構造体の先端まで電子ビームの横断面が徐々に減少するように制御され、電子ビームの位置を一定に保つ。
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溶質の濃縮及び位置特定のための装置（１）であって、基板（２）と、該基板（２）から垂直に突出する複数のプリズムリソグラフィー微細構造体（４）と、を有する。微細構造体（４）は、基板（２）が超疎水性となるように周期的に互いに離間されている。
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