説明

エーエムオー ゲーエムベーハーにより出願された特許

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【解決手段】本発明は、基板(6,16)の表面上に、パターン形成されたレジスト(2a,12a)のコーティングを塗布する方法に関する。前記方法は、流動性を有するレジスト(2,12)がスタンプの表面に構築されたレジストコーティング(2,12)を与えるために、前記スタンプ(1,11)の構築された表面と支持物(3,13)との間で押印される、少なくとも1つの印ステップと、それぞれに、前記構築されたレジストコーティングの第1の部分(2a,12a)を備える前記スタンプと、前記レジストコーティングの第2の部分(2b,12b)を備える前記支持物と、が互いから分離される次に続く分離ステップと、前記構築されたレジストコーティング(2a,12a)を前記基板(6,16)の表面上に転写するために、前記スタンプ(1,11)の表面上の、前記パターン形成されたレジストコーティングの前記第1の部分(2a,12a)が、前記基板(6,16)の表面に押圧される、次に続く転写ステップと、前記構築されたレジストコーティング(2a,12a)の前記第1の部分(2a,12a)が硬化される、硬化ステップと、前記スタンプ(1,11)が前記構築されたレジストコーティングの前記第1の部分(2a,12a)から分離される、離型ステップと、を備える。 (もっと読む)


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