【課題】 流体供給装置から供給される流体の温度が変動する場合に、その流体の温度を均一に調整することができる温度調整装置を提供する。
【解決手段】 流体温度調整装置４０は、流体供給装置３０から供給される流体の温度を所望の温度に調整する。流体温度調整装置４０は、熱媒体の温度を調整する温調器２０と、流体供給装置３０から供給される流体と温調器４０から供給される熱媒体との熱交換を行う熱交換器１０と、熱交換器の上流または下流に配置され、流体供給装置または熱交換器から供給される流体を一時的に貯留する貯留部２２を有する。 （もっと読む）