【課題】小型で高剛性をもち、構造が単純なトルクセンサを提供する。
【解決手段】回転体１０と回転体２０との間に環状変形体３０を配置する。環状変形体３０の左側面の上下２箇所には、回転体１０から突出した凸状部１１，１２が接合され、右側面の手前／奥の２箇所には、回転体２０から突出した凸状部２１，２２（図示せず）が接合される。回転体１０，２０の外周は、ベアリング１５，２５により、筒状筐体４０の内面に回転自在に支持される。駆動軸１３から回転体１０に加えた回転駆動力は、回転体２０から従動軸２３に伝達される。従動軸２３に加わる負荷により、環状変形体３０は楕円状に変形しながら回転し、その外周面３０Ｅと固定電極Ｅとの距離は変動する。このため、両者によって構成される容量素子Ｃの静電容量値は変動する。測定回路５１は、容量値により距離測定値ｄを求め、検出回路６０は、その振幅により、回転負荷をトルクＴとして検出する。 （もっと読む）

【課題】小型で高剛性をもち、構造が単純なトルクセンサを提供する。
【解決手段】左側支持体１０と右側支持体２０との間に環状変形体３０を配置する。環状変形体３０の左側面の上下２箇所には、左側支持体１０から右方へ突出した凸状部１１，１２が接合され、環状変形体３０の右側面の左右２箇所には、右側支持体２０から左方へ突出した凸状部２１，２２が接合される。右側支持体２０に負荷がかかった状態で、左側支持体１０にＺ軸まわりのトルクが作用すると、環状変形体３０は楕円状に変形し、その内周面の長軸位置はＺ軸から離れ、短軸位置はＺ軸に近づく。この内周面の長軸位置および短軸位置には図示しない変位電極が形成され、各変位電極に対向する位置には図示しない固定電極が配置され、各固定電極は右側支持体２０に固定される。作用したトルクは、各変位電極と各固定電極とによって構成される容量素子の静電容量値の変動として検出される。 （もっと読む）

【課題】駆動機能と力検出機能を備えた装置の構造単純化を図る。
【解決手段】基板１００と基板２００を、Ｚ軸が中心軸となるように、ＸＹ平面に平行に配置する。４本のリニアアクチュエータＰ１０〜Ｐ４０を、Ｘ軸の正側および負側、Ｙ軸の正側および負側にそれぞれ配置し、その上下両端を、転がり球面軸受Ｑ１０〜Ｑ４０、Ｒ１０〜Ｒ４０を介して各基板に接続する。各基板の中心には、接続部材Ｐ５０を配置し、上端を転がり球面軸受Ｑ５０を介して基板１００に接続し、下端を基板２００に固着する。Ｐ１０〜Ｐ４０を伸縮駆動することにより、上方基板１００をＸ軸／Ｙ軸まわりに回転駆動させる。可撓性導電膜２０１〜２０４と、基板３００上の固定電極Ｅ１０〜Ｅ４０とによって容量素子が構成され、その静電容量値の変化に基づいて、基板１００に作用したＸ軸／Ｙ軸まわりのモーメントＭｘ，Ｍｙを検出する。 （もっと読む）