【課題】電子ビームのエミッタンスを減少させることができる電子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】本発明による電子ビーム発生装置は、電子ビームが生成される後面部と、生成された電子ビームが外部に排出されるように電子ビーム排出ホールが形成された前面部と、後面部と前面部を連結する側面部と、を含み、側面部には第１のホールが形成され、第１のホールにより誘発される電場不均衡を減少させるように第１のホールと向かい合う反対側側面部に第２のホールが形成されたハウジング、及び第１のホールを介してハウジング内部に電磁気波を供給するように側面部に設置されるウェーブガードを含み、ハウジング内部に入射されたレーザーによって電子ビームが生成され、ハウジング内部に供給された電磁気波によって電子ビームが加速される。 （もっと読む）