【課題】熱電対の破損や断線を防ぎ、しかも全体の厚さの均一化を可能にした温度検出ウェハを提供する。
【解決手段】ウェハ貼り合わせ装置の温度モニタ用の温度検出ウェハであって、２枚のダミーウェハの間に温度測定用の熱電対を挟み込んでダミーウェハ同士を接着することにより熱電対をダミーウェハに固着するようにした温度検出ウェハにおいて、前記熱電対を、シース管２２ａの内部に絶縁材２２ｂを介して熱電対素線２２ｃが配置されたシース熱電対２０により構成し、２枚のダミーウェハ１１，１２によって挟まれるシース熱電対２０の一部を、ダミーウェハ１１，１２の表面に直交する方向の厚さがほぼ一定である扁平部２２とする。 （もっと読む）