本発明は、真空下でワークピースを加工するための加工装置１００に関するものであり、内部空間を有するハウジング１と、ハウジング蓋２と、ハウジング１に対し回転可能にしたハウジング底部６と、ハウジング底部６に連結し、かつハウジング１の内部空間に配置したロータ装置８であって、このロータ装置８内にワークピースを収容するための複数個のチャンバ８１を設けた、該ロータ装置８とを備え、ハウジング１および／またはハウジング蓋２に複数個の作業開口４,１２,１３を形成し、ロータ装置８における複数個のチャンバ８のそれぞれには、少なくとも１つのロータ開口２１を設け、これにより、ロータ装置８の回転に基づき円形経路８２を規定し、この円形経路８２に沿ってロータ開口２１が変位する構成とし、作業開口４,１２,１３を円形経路８２に沿って配置する際、それぞれのロータ開口２１を、円形経路８２に沿う変位時に作業開口４,１２,１３と合致できるよう構成し、ロータ装置８とハウジング１および／またはハウジング蓋２との間における、それぞれのロータ開口２１周りにロータ開口シール部材１４を設け、また、少なくとも２種類のロータシール部材を、ロータ装置８とハウジング蓋２および／またはハウジング１との間において、ロータ開口シール部材１４と接触する状態で設け、円形経路８２に沿う環状空間８３,８３ａ,８３ｂ,８３ｃを、前記作業開口４，１２，１３および前記ロータ開口２１の位置で区切り、前記環状空間８３，８３ａ，８３ｂ，８３ｃを画定し、そして部分毎にシールする構成とする。
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