【課題】コーティングされる基板材料やその形と共にコーティングの厚さや屈折率を効率的に制御できる強固なフィルムを作成するための低コストで簡単な方法を提供する。
【解決手段】以下の構造式で表わされる加水分解性ケイ酸塩オリゴマーを溶媒に加えることにより前駆体製剤を調整し、
【化１】


（ここで、Ｘは少なくとも三つのＸが加水分解性基でなければならないという条件でそれぞれ独立的に加水分解性基又は非加水分解性基から選択される。）基板上に前記前駆体製剤のコーティングを形成し、塩基と水と前記加水分解性ケイ酸塩オリゴマーの加水分解を抑制する抑制剤とが含まれる気体雰囲気において前記コーティングを加水分解及び縮合することにより前記コーティングを硬化すること、を含むことを特徴とする基板上にコーティングされたシリカ又はシリカ様フィルムの作製方法。 （もっと読む）