【課題】ワークから漏洩した検査ガスを高精度に検出するべく、ガス式漏洩検査装置を高精度に校正する。
【解決手段】ワークであるケース部材１８をチャンバ１６に収容するとともに、該チャンバ１６内に基準ガス（例えば、ヘリウム）を導入する。この基準ガスがモニタスペース６９に予め存在していたガスと混合することで、混合ガスとなる。該混合ガスは、モニタスペース６９からサンプリングガスとして抽出される。サンプリングガスの一部が、循環用配管１１６及びサンプリングライン１２１を経てディテクタ１２２に到達すると、ディテクタ１２２は、基準ガスと、モニタスペース６９に予め存在していたガスに含まれて基準ガスと同一種のガスとの総和に応じた値を示す。このときの値を基準値としてガス式漏洩検査装置１０を校正する。なお、校正に供されなかったサンプリングガスの残部は、循環用配管１１６を介してモニタスペース６９に戻される。 （もっと読む）

【課題】ワークに漏洩箇所が存在するか否かを短時間で高精度に判断する。
【解決手段】ケース部材１８（ワーク）の中空室２４からガスが排気された後、該中空室２４に検査ガスが導入される。モニタスペース６９内のガスは、好ましくは第１ファン９４及び第２ファン１１０の作用下に撹拌され、循環用配管１１６に送られる。ガスがディテクタ１２２に到達すると、ディテクタ１２２の表示値は、漏洩ガスの濃度（量）に応じた値を示す。ケース部材１８に漏洩箇所が存在する場合、検査ガスがチャンバ１６に漏洩してモニタスペース６９内のガスと混ざり合う。この混合ガスの一部が、循環用配管１１６及びサンプリングライン１２１を介してディテクタ１２２に送られる。一方、混合ガスの残部は、循環用配管１１６を介してモニタスペース６９に戻される。 （もっと読む）

【課題】ワークに漏洩箇所が存在するか否かを短時間で高精度に判断する。
【解決手段】チャンバ１６に収容されたケース部材１８（ワーク）の中空室２４からガスが排気された後、該中空室２４に検査ガスが導入される。モニタスペース６９内のガスは、第１ファン９４及び第２ファン１１０の作用下に撹拌され、循環用配管１１６に送られる。ガスがディテクタ１２２に到達すると、ディテクタ１２２の表示値は、漏洩ガスの濃度（量）に応じた値を示す。ケース部材１８に漏洩箇所が存在する場合、チャンバ１６に漏洩した検査ガスがモニタスペース６９内のガスと混ざり合う。この混合ガスの一部が、循環用配管１１６及びサンプリングライン１２１を介してディテクタ１２２に送られる。一方、混合ガスの残部は、循環用配管１１６を介してモニタスペース６９に戻される。 （もっと読む）