本発明は、電界放出陰極と、陽極と、陰極および陽極間に高電圧を適用してＸ線ビームの放射を可能にするコネクタと、自身の内部に陽極および陰極が配置される真空チャンバであって、Ｘ線透過窓を有する真空チャンバとを具えるＸ線源に関しており、電界放出陰極が連続したセル構造を有する炭化固体化合物発泡体から成り、連続したセル構造は高電圧が適用されたときに陽極に電子放出する複数の放出部位を具えている。電界放出陰極は、スイチッング時間、電流、運動エネルギ、および出射方向の点で電界放出陰極で放出された電子をさらに高度に制御することが可能であるため、Ｘ線システムの性能を向上することが可能である。 （もっと読む）