【構成】本発明は、周囲環境および真空環境内でμｍサイズの物体およびｎｍサイズの物体を掴みこれを能動的にリリースできる素子を形成する設計および製造方法に関する。掴む動作は一つかそれ以上のマイクロアクチュエーターによって行い、迅速かつ正確な上に、再現性の高い能動的なリリースは、密着している物体に高速プランジ作用構造体による衝撃を与えることによって行う。本発明の新規なマイクログリップ作用素子およびナノグリップ作用素子を製造する２つの製造方法も本発明の範囲内に含まれる。 （もっと読む）