本発明は、少なくとも１つの被試験デバイス（ＤＵＴ）と、５０ｎｍ未満の帯域幅を有する少なくとも１つの、所定の特性が付与された光源とを含み、前記所定の特性が付与された光源の一部をモニタリングすることができるように構成された量子効率（ＱＥ）高速測定装置を提供する。前記光源を前記ＤＵＴに導くための伝達光学系が提供され、制御部によって前記光源を時間依存的に駆動し、少なくとも１つの反射光測定アセンブリによって前記ＤＵＴで反射された前記光源の一部を受光する。時間分解測定装置は、前記光源によって前記ＤＵＴで生成された電流及び／または電圧を分解することができるようにプログラムされたコンピュータによって、前記光源からの少なくとも１つの波長の入射強度及び前記時間分解された測定値に基づいて、前記ＤＵＴの内部ＱＥ値を求め、出力する。 （もっと読む）