説明

ハンコック シリコン カンパニー リミテッドにより出願された特許

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【課題】本発明は、熱変換反応密閉容器を提供する。
【解決手段】本発明の熱変換反応密閉容器は、ユーティリティが設置されているベースプレートと、ベースプレートとの間に密閉されたホットゾーンを形成するベッセルと、ホットゾーンに配置されるヒータと、ホットゾーンに反応ガスを供給及び排出する流入孔と流出孔、及び、流入孔を介してホットゾーンに供給される反応ガスがベッセルに伝達される熱エネルギを吸収してベッセルの温度を冷却させるとともに、加熱された状態で上記ホットゾーンに供給されるようにベッセルの内側に形成される熱交換部を含む。これにより、ベッセルの内側に設けられた熱交換部を介して反応ガスがホットゾーンに供給される過程において、ホットゾーンのヒータからベッセルに伝達され、外部に損失される熱エネルギをホットゾーンに供給される反応ガスが吸収するため、ベッセルは限界温度以上に加熱されることが防止される。
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