【課題】構造が簡単であって、安価に製造することが可能なプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生装置１ａは、主陰極５４及び主外套５５，５６からなる主トーチと、副トーチ陽極５９及び副外套６１からなる副トーチ５２と、副トーチ陽極６０及び副外套６２からなる副トーチ５３と、を備えており、電源７３の負端子が主陰極５４に接続され、電源７３の正端子が副トーチ陽極５９に接続され、電源７４の正端子が副トーチ陽極６０に接続されるとともに、スイッチ２を介して主外套５５，５６に接続され、電源７４の負端子が主陰極５４に接続されている。 （もっと読む）