本発明は、移送軌道の上を電気めっき装置を通って搬送されうる、帯状または板状の材料(1)の電気的接触に関する。陰極を付与された接触手段(6)が、例えば、電気めっき装置の中で循環させられる電解液(12)の中で、材料(1)の下側に配置される。材料は、電流を材料(1)に伝達するために電気的に接触される。従来技術では、接触手段(6)は、材料(1)に加えて金属被覆される。前記金属被覆は、接点から継続的に除去される必要がある。本発明によれば、例えば各管状接触手段(6)は、冷却ユニットまたは冷却媒体によって冷却される。電解液(12)の作動温度と接触手段(6)の表面温度との間の温度差が十分に大きいならば、金属は、接触手段(6)の冷却された表面の上に堆積されない。この特性が、使用される電解液(12)の中で陰極として金属被覆されえない、接触手段(6)の表面を用いて補足されてよい。
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本発明は、その外側端部中に電気的接点を含む材料(1)を電気メッキするための、殊に、たとえば、カッププレーター中のウエハなどの基板の電気メッキするための方法および装置に関する。均一な電気メッキという結果を得るために、少なくとも2つの部分的な電解セルが、形成され、それらは、個別に調節することができる、それぞれの電気メッキ電流源(9')および(9")によって、電流が給電される。部分的なカソード(12')および関連する部分的なアノード(7')が、直径方向に遠く離れた部分的なカソード(12")の領域中で給電される。逆に、部分的なカソード(12")は、部分的なカソード(12')の基層を介して、給電される。層厚さ分布の要求される平坦化が、とりわけ、2つの部分的なセルへの電気メッキ電流の量を交互に異なるように調節することによって、および電極(7、12)を互いに対して回転させることによって、実施される。
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