【課題】 本発明は、基板またはウェーハーの収容のための、および、プロセス設備内への、またはこれらプロセス設備を通っての移送のための、基板支持体に関する。本発明でもって、可能な限り広範に使用可能な、もしくは、簡単に、実際的な役目のために容易に適合可能な、および、材料を節約する基板支持体が、提供されるべきである。
【解決手段】 上記の課題は、長手方向支持体および横方向支持体２、３から形成された、フレーム１の内側で、多数の長手方向ウェブおよび横方向ウェブ４、５は、基板の直接的または間接的な収容のための基礎格子が形成されるように、互いに格子体状に交差して設けられており、且つ、互いに結合されていることによって達成される。長手方向支持体および横方向支持体２、３と同様に、長手方向ウェブおよび横方向ウェブ４、５は、形状的に係合して、互いに結合されている。
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【解決手段】 本発明は、多部材より成るグラファイト構造要素への、複数の特殊グラファイト部材の、例えば、平面状のグラファイト板のような１つの比較的に大きな構造部材への、２つまたは多数のグラファイト板または類似の構造部材の形状および力一体的な結合に関する。本発明により、多部材より成るグラファイト構造要素への、特殊グラファイト部材の間の形状および力一体的な結合を提供することであり、この場合、接合‐結合部位がこれら結合部位を囲繞する堅牢な材料とほぼ同じ物理的な特性を有しているべきである。このことは、グラファイト板１、２または複数の特殊グラファイト部材が、互いに相対して位置している端側面３、４において、一方のグラファイト板１の端側面３が、噛み合わせ５の凸状の形状を、および、相対して位置しているグラファイト板２の端側面４が噛み合わせ６の凹状の形状を有しているように３次元的に互いの中へ噛み合わされており、その際、これらグラファイト板１、２の端側面の間の噛み合わせ５、６が、専ら、輪郭の均等な移行部を互いの中へ有していることによって達成される。
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