【課題】マイクロマシン構成部材の片持梁の幅を大幅に減じることにより、より高い周波数に適したものにするための方法を提案する。
【解決手段】少なくとも１つの第１の給電線路４１が第１の平坦な面２１に配置されており、少なくとも１つの第２の給電線路４２が、第１の平坦な面２１とは反対側に配置された、片持梁の第２の平坦な面２２に配置されており、第１の給電線路４１が第１の平坦な面２１において機能エレメント３まで延びており、第２の給電線路４２が、第１の平坦な面２１と第２の平坦な面２２との間の局所的な電気接続部４３，４３１，４３２を有する。 （もっと読む）