ウエハー接合型ＣＭＵＴアレイは、基板に沿って配設される複数のＣＭＵＴエレメントを備えており、各エレメントは、基板に形成されるキャビティおよび信号電極と、キャビティを塞いで、接地電極を形成する導電性膜とを有しており、複数のＣＭＵＴエレメントのこれらの導電性膜が、ＣＭＵＴアレイの表面全体にわたる連続した接地面を形成しており、また、信号電極への電気接続部が、信号電極から基板の裏面へ基板を貫通して延びる導電性ビアによって提供されている。 （もっと読む）