アクセトリス アクチエンゲゼルシャフトにより出願された特許
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圧力依存性を低下させてガス濃度を検出するための方法および装置
【課題】本発明は、ガス圧力の変化およびに気圧変化に対して不変の、あるいは、少なくとも影響が少ない微量ガス濃度測定を可能にする方法に関するものである。
【解決手段】この方法は、圧力センサおよび圧力のキャリブレーションを必要としない。さらに、この方法は、背景ガス中に存在する他のガス種、あるいは、対象ガスに相互干渉する背景ガス自体にも適用可能である。これにより、他のガス種および/または背景ガスの相互干渉パラメータの圧力依存性を除去することができる。ガス濃度を正確に測定する新規の方法は、レーザーの波長変調振幅を圧力依存性が最小になるように最適化することに基づいている。
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