検査用サンプルホルダ及び加熱のアセンブリを含む、サブミクロンスケールの特性検査用装置である。アセンブリは、サブミクロン検査器具と電気機械式トランスデューサとのアセンブリに結合するように構成されたホルダ底部を含む。アセンブリは、ホルダ底部と結合した検査用サンプルステージをさらに含む。検査用サンプルステージは、ホルダ底部から熱的に分離される。検査用サンプルステージは、検査用サンプルを受けるように構成されたステージ検査用サンプル表面と、ステージ検査用サンプル表面を固定するステージプレートを含む。ステージプレートは、ステージ検査用サンプル表面の下にある。検査用サンプルステージは、ステージ検査用サンプル表面に隣接する加熱エレメントをさらに含み、加熱エレメントは、ステージ検査用サンプル表面で熱を発生させるように構成される。 （もっと読む）