本発明のオゾン処理設備用排気酸素リサイクル装置は、排気ガス中の成分のうちオゾンを生成するオゾン発生装置で不純物として認識される不純物を除去する不純物除去手段と、オゾン発生装置に供給可能な圧力にまで排気ガス又は不純物除去手段により不純物が除去された精製ガスを圧縮する圧縮機とを備えている。本発明は、オゾン処理設備での反応後に大気中に排出される排気酸素を精製してオゾンの生成にリサイクルすることができる。
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