マイクロ システムズ エンジニアリング ゲーエムベーハーにより出願された特許
1 - 1 / 1
多層セラミック構造体及びその製造方法
【課題】セラミック物質を含む第一グリーンフィルム(1)を使って、空洞を有する多層セラミック構造体を製造する簡単で費用効果の高い方法を提供する。
【解決手段】少なくとも1つの有孔領域(8)を有する第一グリーンフィルム(1)上に、この有孔領域(8)上に位置するように第一層(10、例えばガラス層)を適用し、次いで、追加のグリーンフィルム(12)を適用し、積層してグリーンフィルム複合体を得、次いで、この複合体を焼結し、第一層(例えばガラス層)のガラス物質を有孔領域に移動させることにより空洞(24)を形成する。
(もっと読む)
1 - 1 / 1
[ Back to top ]