真空炉や他の用途等のプロセスから出る不活性ガス、特に希ガスの回収及びリサイクル方法。不活性ガスと被酸化性不純物とを含有する第１ガス流を、金属酸化物を有する酸化塔に供給する。塔内では、金属酸化物の存在下、第１ガス流の不純物が酸化され、二酸化炭素と水とを含む第２ガス流が形成される。第２ガス流を再生可能な二酸化炭素除去塔に供給する。塔内で、第２ガス流から二酸化炭素が除去され、第３ガス流が形成される。吸収塔内で第３ガス流から水分が除去される。排出された精製後の不活性ガスは、不活性ガスを利用するプロセスに送り込むために、吸収塔から回収される。回収されたガス流は、純度が約６Ｎ（純度99.9999％）、即ち、汚染物の合計が約１ppmである。 （もっと読む）