エーゲンライト・コーポレーションにより出願された特許
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一列に並んだ光ファイバーデバイス用のリード線付き貫通接続部を有する気密性パッケージおよび作製方法
光ファイバータップなどの、一列に並んだ光ファイバーデバイス(106,108,110)用の独創的な気密封止されたリード線付きパッケージ(100)について記載する。本パッケージは、有利なことに、微細機械加工されたシリコンウェハ(402)のバッチ処理と両立性のある電気的な貫通接続部を用いる。
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